真空腔体是保持里面为真空状态的容器，它的加工要考虑容积、材质和形状。

 

       高真空系统主要采用不锈钢材质。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%～20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、无磁性、焊接性好、导电率、放气率低和导热率低、能够在-270～900℃工作等优点，在高真空和高真空系统中，应用较广。

 

       为了减小腔体的内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。系统的腔体，月多的是利用电解抛光来进行表面处理。

 

       焊接是真空腔体制作中很重要的环节之一。通常采用氩弧焊来完成焊接，以免空气中熔化的金属和氧气发生了化学反，应而影响焊接质量，氩弧焊是指在焊接过程中向钨电端周围喷撒保护气体氩气，以免熔化后的高温金属发生氧化反应。腔体的氩弧焊接，原则上定要采用内焊，即焊接面是在真空一侧，以免存在死角而发生虚漏。但是，对于方形腔体，侧面的平板上要承受上吨的压力，定要通过增加壁厚或设置加强筋，才能以免其变形。