哈氏合金腔体因生产加工过程中表面容易油渍等附着物，常用的清洗溶剂包括含洗涤剂的水、石油分馏物、稀酸、碱、有机溶剂、不同金属清洗剂等。根据表面附着物的不同，需要用不同的溶剂进行清洗，如锈蚀物需要用酸性金属清洗剂，矿物油脂需要用有机溶剂等。
1、超声波清洗
超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而实现清洗目的。
2、电解侵蚀清洗
电解侵蚀清洗类似于电解抛光，是指在溶剂中利用电解作用，清洗金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物，主要用于化学稳定性较高的合金部件，如不锈钢，耐热钢等。
3、蒸汽脱脂清洗
蒸气脱脂指被粘物表面用餐剂的蒸气不断清洗以到脱脂的目的，适用于表面类脂膜和油脂膜的清洗，操作方法简单，可以实现大批量清洗。一些带有牢固附着物或污染较为严重的基片在擦洗或超声波清洗后，用蒸汽脱脂清洗可以有一个不错的清洗效果。
4、放电清洗
放电清洗一般用于
哈氏合金腔体清洗中，放电清洗的效果取决于电机材料、几何形状及其与表面的关系，利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的清理。
5、氮气清洗
氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短，容易被抽走的特性，用氮气冲洗被污染的真空系统，同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间，缩短真空系统的抽气时间。
