常见的真空腔体加工的检漏方法

         真空腔体加工检漏的方法主要有三种，其中氦质谱检漏是真空检漏领域里不可少的一种技能，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在检漏中得到了较多应用。