真空腔体是保持里面为真空状态的容器，真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢是含Cr10%—20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270—900℃工作等优点，在高真空系统中应用广。